Sensor Injini 2CP3-68 1946725 ya Cartar

Njira yokonzekera sensor yokakamiza, yodziwika ndikupanga njira zotsatirazi:

S1, kupereka chofunda ndi malo kumbuyo ndi kutsogolo; Kupanga chingwe cha piezoressist ndipo malo olumikizana kwambiri olumikizana nawo kutsogolo kwa mkate; Kupanga kupanikizika kwambiri pang'onopang'ono polowera kumtunda kwa cholengedwa;

S2, yolumikizana ndi pepala lothandizira kumbuyo kwa cholengedwa;

S3, kupanga mabowo otsogola ndi zingwe zachitsulo kutsogolo kwa chofunda, ndikulumikiza mizere yopanda zitsulo kuti apange mlatho wa tirigu;

S4, ikuyika ndikupanga pasanjidwe kutsogolo kwa chofunda, ndikutsegula gawo la pasipoti kuti apange malo achitsulo. 2. Njira yopangira kuponderezedwa malinga ndi 1, pomwe S1 ikuluikira mwatsatanetsatane: S11: kupereka chotsika ndi mawonekedwe a kumbuyo, ndikutanthauzira kukula kwa kanema wovuta; S12: Ion Inglantation imagwiritsidwa ntchito kutsogolo kwa chofunda cha mtsogolomo, mizere ya Piezoressist imapangidwa ndi kutentha kwakukulu kwa kutentha, ndipo zigawo zolumikizirana zimaponyedwa kwambiri; S13: Kuyika ndikupanga mawonekedwe oteteza kumtunda kwa cholengedwa; S14: Kutalika ndikupanga kukakamiza mkati mwamkati mwa wokwera kuti apange filimu yovuta. 3. Njira yopangira kuponderezedwayo malinga ndi 1, pomwe woyenda ndi wani.

Mu 1962, Tufte et al. Opangidwanso makina a Pinor ndi Slicon Pizzon Pizzon mikono ndi mafayilo a silicon kwa nthawi yoyamba, ndipo adayamba kafukufukuyu pa stazreressiction sensor sensor. Chakumapeto kwa zaka za m'ma 1960 ndi kumayambiriro kwa m'ma 1970, maonekedwe a matekinoloje atatu, omwe adawoneka kuti ukadaulo wa Anicon Anisotropic ndi adodic kutumizirana njira yolumikizira, yomwe idagwira ntchito yofunika kwambiri pokonzanso sensor. Kuyambira 1980s, ndi chitukuko chowonjezera cha ukadaulo wamiyamo, monga Anisotropic yotalika, litagraphy, kuphatikiza ndi zokutira, ndikupanga bwino ndipo magwiridwe ake ndi abwino kwambiri. Nthawi yomweyo, chitukuko ndi kugwiritsa ntchito ukadaulo watsopano wa micromachin umapangitsa kuti filimuyo ikhale yozungulira molondola.